概要

・UV硬化とは：UVに当たると固まる現象で、高分子

　になる前の高分子原料(M)又はOligomerを添加した

　溶液をUVによる化学反応を起こして固める

　方式です。

・露光とは：光に反応する物質(P,PR,感光液)が

　コーティングされた試料の上にパターン付きの

　マスクを載せてUVを照射。

・求めるパターンを伝写する装置。　

・半導体やLCDなどの微細なパターンの工程に主に

　使われている。

・殺菌・洗浄：UVの強力な殺菌、洗浄を使用した

　装置。

​特徴

・UV硬化方式は,乾燥が速く対象に制限がない。

・新しい製造方式として適用され、敏感な電子部品の

　保護、シーリング、コーティングの用途で

　電子部品市場に応用されている。

・液晶工程ではTFTアレイ基板とカラーフィルター

　(CF）基板の間に液晶セルを形成する工程でUV硬化

　工程が適用されている。

・インライン露光方式でスキャン方向の照度偏差が

　ほとんどなく、左右方向で±５％実現が可能。

仕様

・照射対象：G8のLCDパネル

・ガラスサイズ：2500×2000

・使用ランプ：高圧水銀ランプ及びメタルランプ

・照射方式：インラインタイプ

・照射エネルギー：ご希望により変更可能

・照射時のガラス温度：ご希望範囲の選択可能

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。