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概要
概要
・液晶パネル/OLEDパネル蒸着不良の検査装置
・蒸着後の異常(異物、膜厚、突起物)有無及びバターン識別
・日本、中国、韓国の量産装置として実績多数あり
特徴
・微細欠陥(sub-micro級)に対応する高解像度検査および高速レビュー技術
・Deep Learning技術を利用
・自社制御ソフトによる高い安定性の実現