LLO(Laser lift-off) system
レーザーリフトオフ装置

概要

・フレキシブルディスプレイ用に設計された

 Laser Lift-Off systems。

・Carrier Glass(キャリアガラス)はレーザー、

 光学テクノロジー、プロセスモジュールを

 使用し、基板から分離させ薄膜デバイスを

 作ります。

・フレキシブルディスプレイの製造プロセスに

 おける中核的な装置です。

​特徴

・ガラス基板上に形成されたプラスチック材料で

 あるPI(ポリイミド)を分離するエキシマレーザー

 (Excimer Laser)を使用。

・AMOLED及びフレキシブルOLEDディスプレイ

 プロセスで使用される。

・Annealing 装置はAMOLED工程でa-Siをp-Siに

 結晶化するために使用。

・フレキシブルOLED工程でガラス基板上に膜を

 形成するためにPI(ポリイミド)でコーティングす

 ることによってガラス基板を分離するために

 使用される。

仕様

・レーザータイプ:Excimer Laser

・ステージタイプ:Single or Stack Plane

・レーザーパルス:1J,2J

・レーザー波長:308nm(XeCl)

・レーザー反復率:600Hz

・ソフトウェア:Easy Cluster

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。

株式会社レノバソリューションズ

​Renova Solutions Co., Ltd.

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