Panel Mura  Inspection
ムラ検査装置

概要

・液晶パネル/OLEDパネルのスリットムラ、

　エリアムラ、スポットムラなどの検査が可能。

・それぞれの異常を基準データとの比較や隣接領域

　との比較を通じて合否を判定。

​特徴

・高解像度検査 Sub-micro級微細欠陥に対する

　検査技術。

・致命的な欠陥抽出及び分類。

・微細欠陥に対する高速レビュー技術。

・光学系開発、特にOLEDパネルに関しては

　フレキシブル工程に特化された光学系開発技術。

・自社の開発制御ソフトを利用することによる

　高安定性。

・国内海外顧客先(日本、中国、韓国)の量産装置

　として、実績多数あり。

仕様

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。