UV:(Ultra Violet Ray) system
UV露光(硬化)機

概要

・UV硬化とは:UVに当たると固まる現象で、高分子

 になる前の高分子原料(M)又はOligomerを添加した

 溶液をUVによる化学反応を起こして固める

 方式です。

・露光とは:光に反応する物質(P,PR,感光液)が

 コーティングされた試料の上にパターン付きの

 マスクを載せてUVを照射。

・求めるパターンを伝写する装置。 

・半導体やLCDなどの微細なパターンの工程に主に

 使われている。

・殺菌・洗浄:UVの強力な殺菌、洗浄を使用した

 装置。

​特徴

・UV硬化方式は,乾燥が速く対象に制限がない。

・新しい製造方式として適用され、敏感な電子部品の

 保護、シーリング、コーティングの用途で

 電子部品市場に応用されている。

・液晶工程ではTFTアレイ基板とカラーフィルター

 (CF)基板の間に液晶セルを形成する工程でUV硬化

 工程が適用されている。

・インライン露光方式でスキャン方向の照度偏差が

 ほとんどなく、左右方向で±5%実現が可能。

仕様

・照射対象:G8のLCDパネル

・ガラスサイズ:2500×2000

・使用ランプ:高圧水銀ランプ及びメタルランプ

・照射方式:インラインタイプ

・照射エネルギー:ご希望により変更可能

・照射時のガラス温度:ご希望範囲の選択可能

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。

株式会社レノバソリューションズ

​Renova Solutions Co., Ltd.

TOKYO:〒206-0033 東京都多摩市落合1-15-2、多摩センタートーセイビル3F

  

OSAKA:〒550-0005 大阪府大阪市西区西本町1-6-2、阿波堀ビル3F