Thin Film Transistor INSPECTION
TFT(薄膜トランジスタ)検査装置

概要

・LCDやOLEDのTFT製造工程においてTFT画素の

 欠陥部分をレーザーにより修正する装置。

・フレキシブルディスプレイの製造プロセスにおける

 中核的な装置です。​

​特徴

・金属配線のオープン欠陥の修正が可能。

・導電性材料の塗布による欠陥の修正。

・高機能レーザーにより高精度・低ダメージ修正も

 可能。

・高速ステージを採用による基盤処理時間を短縮。

・国内海外顧客先(日本、中国、韓国)の量産装置

 として、実績多数あり。

仕様

・ 基板対応サイズ:Max 3,000 X 3,400mm  

 (G10.5)(参考数値、応相談)

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。

株式会社レノバソリューションズ

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