Thin Film Transistor INSPECTION
TFT(薄膜トランジスタ)検査装置

概要

・LCDやOLEDのTFT製造工程においてTFT画素の

　欠陥部分をﾚｰｻﾞｰにより修正する装置。

・フレキシブルディスプレイの製造プロセスにおける

　中核的な装置です。

・金属配線のオープン欠陥の修正が可能。

・導電性材料の塗布による欠陥の修正。

・高機能レーザーにより高精度・低ダメージ修正も

　可能。

・高速ステージを採用による基盤処理時間を短縮。

・国内海外顧客先(日本、中国、韓国)の量産装置

　として、実績多数あり。

・基板対応サイズ：Max 3,000 X 3,400mm　　

　（G10.5）(参考数値、応相談)

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。