Panel Vapor deposition inspection
蒸着工程検査機

概要

・液晶パネル/OLEDパネル蒸着不良の検査装置です。

・蒸着後の異常(異物、膜厚、突起物)有無及び

　バターンを識別。

・それぞれの異常を基準データーとの比較や隣接領域

　との比較を通じて合否を判定。

・高解像度検査 Sub-micro級微細欠陥に対応する検査

　技術。

・Deep Learning技術を利用して致命的な欠陥抽出

　及び分類することが可能。

・複雑回路形成過程で発生する様々な微細欠陥に

　対する高速レビュー技術。

・光学系開発、特にOLEDパネルに関しては

　フレキシブル工程に特化された光学系開発技術。

・自社の開発制御ソフトを利用することによる

　高安定性。

・国内海外顧客先(日本、中国、韓国)の量産装置

　として、実績多数あり。

※詳細構造及び仕様に関しては、ご相談に応じます。