電子デバイス製造装置

蒸着工程検査機

​概要

概要

・液晶パネル/OLEDパネル蒸着不良の検査装置

・蒸着後の異常(異物、膜厚、突起物)有無及びバターン識別

・日本、中国、韓国の量産装置として実績多数あり

特徴

・微細欠陥(sub-micro級)に対応する高解像度検査および高速レビュー技術

・Deep Learning技術を利用 

・自社制御ソフトによる高い安定性の実現